臭氧（O3）是一种不稳定的，具备三个氧原子分子结构的氧气。臭氧具备十分强劲的水解性，通过向水中加到臭氧可以脱除有可能导致水体色度，臭味和气味的有机物。最重要的是，使用臭氧展开消毒处置，可以很快避免所有的微生物污染。
沉淀在水中的臭氧在几分钟内分解成还原有害的氧气，这各不相同水的温度和pH值，因此，它在实际工艺过程应用于中必需展开在线制取和监控。臭氧分解成后会残余任何危害的副产物。 臭氧发生器工作时将潮湿空气或显氧气运送至高压电极附件，通过电晕静电将部分氧气转化成臭氧，该过程类似于自然界的雷雨天气再次发生的臭氧分解反应。
臭氧发生器产生这种气体混合物可以通过水箱中的布气装置或者管道上的文丘里喷射器和水充份混合。臭氧和水充份认识可以仅次于程度确保臭氧沉淀，。有新一代的臭氧制取技术可以必要在水中分解臭氧，以增加有可能由空气导致的损失。
臭氧在制药用水制取过程中的应用于 制药用水消毒 臭氧是用作制药用水系统消毒的一种极佳的媒介。但是在制药系统用水点不容许有其它的额外添加物， 因此使用紫外光在消毒过程已完成后展开臭氧脱除。同时，紫外线光本身也具备杀菌功能可以进一步提高系统的杀菌效果。
在线洗手（CIP） 臭氧更加多地应用于在制药过程的管道系统消毒和生物粘膜脱除， 和其它冷却或化学药品洗手工艺比起，臭氧更慢更加经济。此外，臭氧的分解成产物为有害的氧气。
沉淀臭氧监测 基于制药行业对制药用水的严格要求，对臭水解水展开在线监测和掌控臭氧已沦为标准作法。在大多数制药用水制取过程中，三个关键测量点都必须展开臭氧监测，如图1右图。 臭氧传感器＃1.在储罐出口通过臭氧浓度监测来保证必要的臭氧浓度以确保消毒效果。
它还可以通过臭氧发生器掌控臭氧特药量。
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