本文摘要：浙江省计量院是依法遵守计量测验和产品质量监督检验职能的公益类科研事业单位。近日，浙江省计量院“扫瞄探针显微镜校准装置”通过了专家组现场考核，创建了全国首个纳米计量领域社会公用计量标准。

浙江省计量院是依法遵守计量测验和产品质量监督检验职能的公益类科研事业单位。近日，浙江省计量院“扫瞄探针显微镜校准装置”通过了专家组现场考核，创建了全国首个纳米计量领域社会公用计量标准。扫瞄探针显微镜(ScanningProbeMicroscope，SPM)是扫瞄隧道显微镜及在扫瞄隧道显微镜的基础上发展一起的各种新型探针显微镜(原子力显微镜AFM，激光力显微镜LFM，磁力显微镜MFM等等)的总称，是国际上近年发展一起的表面分析仪器，是综合运用光电子技术、激光技术、黯淡信号检测技术、精密机械设计和加工、自动控制技术、数字信号处理技术、应用光学技术、计算机高速收集和掌控及高分辨图形处理技术等现代科技成果的光、机、电一体化的高科技产品。

目前，浙江省计量院已不具备微纳几何结构关键尺寸的计量校准能力，可为半导体企业、仪器加工中心的关键尺寸测量获取量值本源至国家基准的途径，更为全面精确地为半导体、微电子行业的纳米尺度关键尺寸检测获取技术确保。近年来，浙江省计量院为了强化质量技术基础及体系创建，服务浙江省经济转型升级，环绕“三强一生产”中心工作，大大在高端装备、医疗卫生、大气管理、新材料等领域创建社会公用计量标准，符合新的产业领域发展的必须。

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